⑴ 多晶硅片在分选过程中出现粘胶面中间硅粉脱落(清洗过程中看不出来,严重的形成崩边和硅落)的原因
当你的硅棒被线切割后,其底部有残余铸锭,这是将棒料放置到水槽中,用普通自来水少高压,冲洗,冲洗时沿着片子的外边缘,来回走两遍,然后放在一边,再用再一次冲洗,
这样就没问题了,和你的铸锭没有关系,是清洗的方法不对,
我是一个研发人员,如贵公司需要清洗后的设备,比如硅片的分片,等自动化设备,可以提供技术支持
⑵ 硅橡胶模压产品加工的技术要点
是不是颜料分散不均造成。可以换换厂家的混炼胶试试,如果自己加颜料在开炼机先混匀颜料再加硫化剂。
⑶ 单晶硅的生产工艺流程
摘要 直拉法和区熔法是制备单晶硅最常用的方法
⑷ 胶棒和玻璃胶的区别
主要区别有,含有成分不同、应用不同、使用方式不同,具体如下:
一、含有成分不同
1、胶棒
是以乙烯-醋酸乙烯共聚物(EVA)为主要材料,加入增粘剂与其它成分配合而成的固体型粘合剂。
二、应用不同
1、胶棒
应用于塑料、金属、木材、纸类、玩具、电子、家具、皮革、工艺品、鞋材、涂布、陶瓷、灯罩、珍珠棉、食品包装、音箱等粘合。
2、玻璃胶
玻璃胶按性能分为两种,中性玻璃胶和酸性玻璃胶:
①、中性玻璃胶一般用于家装粘接。家装中一般使用玻璃胶的地方有,木线背面哑口处、洁具、坐便器、卫生间里的化妆镜、洗手池与墙面的缝隙处等。
②、酸性玻璃胶一般用在木线背面的哑口处,粘接力很强。
三、使用方式不同
1、胶棒
通过热熔胶枪,热熔胶机,加热使用。
2、玻璃胶
通过玻璃胶枪打胶使用,不需要加热。
⑸ 硅片切割废砂浆提取碳化硅后的废滤饼还可以做什么
各种硅片不良的解决方案
一。断线:如何让预防断线;断线后如何处理(M&B。NTC HCT)把损失降低到最少
二。硅片崩边。线式崩边 点式崩边 倒角崩边
三。厚薄不均:一个角偏薄,厚薄不均
四。线痕:密集线痕 亮线线痕
五。花污片:脱胶造成的花污片 清洗造成的花污片
在太阳能光伏、OLED、LED、TFT、LCD、光电光学行业、化工、电子、电镀、玻璃等领域,东莞恒田水处理设备公司拥有多年的太阳能光伏、、OLED 、LED、LCD、光电光学行业、化工、电子、电镀、玻璃等行业脱盐水和超纯水设备的设计、安装、调试和售后服务的成功经验。
接下来我将对以上五种关键不良做从5M1E6个方面做详细的分析 预防 善后 等
具体是什么参数比如0.10钢线要求瞬间破断力多少?1200# 1500# 2000#碳化硅的颗粒圆形度 粒径大小要求 黏度张力要求多少等
大家去按照这个方向去找对策做计划(P),做好可量化的点检表(D),主管亲自抓班长去督导(C),总结检查的结果进行处理,成功的经验加以肯定并适当推广、标准化;失败的教训加以总结,以免重现,未解决的问题放到下一个PDCA循环(A)。
这个虽然写的是M&B264的原因分析,但是从标准化管理角度来说,应该还是具有普遍意义的哦
断线善后处理首先做好断线记录(断线时间、机台号、部位、切深)留好线头
1.
查明断线原因及断线情况.
2.
及时上报,未经同意,不得私自处理。
3.
处理流程:1.在出线端断线,宽度不超过10毫米的直接拉线切割.
2.切深≦60mm中部或进线端断线,以30mm/min直接升起,迅速布线,8000流量砂浆冲洗,冲片时在线网上铺上无尘纸,
冲开粘在一起的片子后,迅速把晶棒降到距线网2mm处,然后
以10mm/min的进给认真仔细的“认刀”。3.中部或进线端断线,切深在50mm---80mm之间的,以10mm/min的速度升料到距进刀处30--40毫米,,停止。线速调到2m/s,以2%走线1cm,以调平线网,停止。打开砂浆8000流量均匀冲片子。把晶棒两侧的线网小心的剪掉(剪时要用手捏着),留出3-4厘米的线头,另一端不剪.(进线端有线网的一定要保留该部分线网,以便重新布线.剪两侧线网时一定要用手或其他夹紧物,夹紧预留的线网头.)布线网,重新切割。4进线端或中部断线切深超过80mm的视情况能认刀的就认刀否则就反切或直接拉线正向切割。
4.进线端断线,第一次断线,切深在80mm.1换掉放线轮,用一个空的收线轮来代替。以低于原2N(左19和右21)的张力,切割线方向改为:右,其他参数不变,手动2m/s的线速走1m,不要开砂浆。2把晶棒提升至30---40mm处,重新对接焊线,焊线时要焊接均匀,焊接点的点径要和线径相同。经15N的线速走线300——400米,改张力为自动切割的张力,每秒1米,不开沙浆,走到出线端5米时,把张力改为15N,待线头在收线轮上绕2——3圈,改回原来的张力。把晶棒压到断线位置误差在0.05mm,打开砂浆。以1m/s速度的20%,走上1m,经班长确认无误后进行切割。
5.经上环节中必须处理好线网(其中包括,碎片、胶条、沙浆颗粒)在升晶棒前,把胶条去掉,上升速度为每分钟10mm,上升过程中如夹线,不可用手去摸,只能用手动轻微探摁一下,把线网走平。
6.认线前5m/s的速度走线100m,在不松开张力的情况下,停止走线,然后以10mm/min认刀,要一次性认进。
7.反向切割设置修改:进给降低1个百分点,线速降低1M/S,流量增加300KG/H。
8.线头编号方法:年+月+日+机台号+第几次断线数.例如:080501-20-01
9.请工序稽查人员按照此标准做巡检
崩边问题问题点:粘胶面崩边
异常现象:脱胶后,在方棒两头的硅片粘胶面呈现边沿发亮,
硅层呈线式脱落崩边, 及距粘胶面0.1mm处线式崩边。脱胶和清洗
时观察不到崩边,检验时能发现崩边。
原因分析:
一.开方进给不稳,外圆刀锯转速不稳,刀锯金刚砂层质量不好,造成刀痕过重,方棒表面刀纹不平,凹凸起伏,隐型损伤(指的是锯开方)线开方损伤可忽略
二.方棒温度低,胶在凝固时的高温反应热,破坏了粘胶面的硅层结构
三.硅片预冲洗水温低于XX度,脱胶水温低于XX度,胶层未完全软化时员工就用手把硅片用力作倒。
四.由于采用的是小槽距大线径,不可避免会在出刀时造成硅片向阻力小的一方的倾斜,方棒两头的硅片受到的阻力最
小,造成两个棒
子四个头部近32毫米长度内的硅片出现崩边。
五.粘接剂太硬(不便说出硬度系数),在钢线出硅棒粘胶面的瞬间,破坏了硅层。
预防措施:
一.脱胶,经过控制脱胶的规范操作,即使前道工序已经对方棒表面产生不良影响,经过优化粘胶方式和手法,也要把损失降低到最
低点。在目前的设备配置前提下,严格要求脱胶工“45~50 度温水,浸泡25分钟”
联系设备部,做硅片隔条,降低硅片倒伏时的倾度。
二.严格控制方棒超声池的水温在40度,超声到粘胶的时间间隔控制在2小时内,粘胶房的温度控制在25度,湿度不超过50%。
三.对开方机进行一次进给和转速校正,开方后的方棒经打磨后再滚圆。并请设备部做出设备三级维护计划书。做定期维护保养
四.“分线网”硅片切割:方棒两头各留出2mm不切割,减少切割过程中硅片向两侧“分叉”
另外一种办法:做一个可调试挡板系统,挡住
方棒两头,防止硅片“分叉”崩边。
五,采用线开方和磨面机,有条件的最好腐蚀一下。更换粘接力强但硬度适中的粘接剂
善后处理:磨砂玻璃和1700#碳化硅 按一定的水分比例选择某种手势,力度,角度磨掉在边长要求范围内的崩边(标准作业指导书)
厚薄不均5m1e分析
硅片厚薄不均预防措施
一.TV偏大或偏小:根据客户要求片厚,计算出最佳成本/质量的槽距,钢线,碳化硅,砂浆密度。
二.TTV》15mm的硅片占比超过0.62%,属于异常。对于一次切割的单位,应增加导向条(部位不提供),两次切割的单位最好把导轮(主辊)槽距改一下或第二次切割时砂浆流量增大500公斤/小时(5l/min)或多更换20公斤砂浆。
三.硅片的进刀处的进线端(角)偏薄或偏厚,应修改进刀时的砂浆流量
四:同一个硅片的厚度呈大-小-大-小分布的,应调整切割工艺程序。进给,线速,流量应均匀同步变化。
五,跳线引起的某刀硅片厚度异常,同一个片
的厚度异常,不同片子的厚度偏差等,因通过加过滤网/过滤袋/振荡过滤器和切割前仔细过滤,没有跳线来消除
⑹ 杯子把坏了,用热熔胶棒粘上了
热熔胶到时不会溶于水,但是热熔胶时间长了以后容易与杯子脱离。如果杯子是陶瓷的话就更容易脱离些。
⑺ 硅棒\硅片加工生产
目前超过98%的电子元件材料全部使用单晶硅。其中用CZ法占了约85%,其他部份则是由浮融法FZ生长法。CZ法生长出的单晶硅,用在生产低功率的集成电路元件。而FZ法生长出的单晶硅则主要用在高功率的电子元件。CZ法所以比FZ法更普遍被半导体工业采用,主要在于它的高氧含量提供了晶片强化的优点。另外一个原因是CZ法比FZ法更容易生产出大尺寸的单晶硅棒。 目前国内主要采用CZ法 CZ法主要设备:CZ生长炉 CZ法生长炉的组成元件可分成四部分 (1)炉体:包括石英坩埚,石墨坩埚,加热及绝热元件,炉壁 (2)晶棒及坩埚拉升旋转机构:包括籽晶夹头,吊线及拉升旋转元件 (3)气氛压力控制:包括气体流量控制,真空系统及压力控制阀 (4)控制系统:包括侦测感应器及电脑控制系统 加工工艺: 加料→熔化→缩颈生长→放肩生长→等径生长→尾部生长 (1)加料:将多晶硅原料及杂质放入石英坩埚内,杂质的种类依电阻的N或P型而定。杂质种类有硼,磷,锑,砷。 (2)熔化:加完多晶硅原料于石英埚内后,长晶炉必须关闭并抽成真空后充入高纯氩气使之维持一定压力范围内,然后打开石墨加热器电源,加热至熔化温度(1420℃)以上,将多晶硅原料熔化。 (3)缩颈生长:当硅熔体的温度稳定之后,将籽晶慢慢浸入硅熔体中。由于籽晶与硅熔体场接触时的热应力,会使籽晶产生位错,这些位错必须利用缩劲生长使之消失掉。缩颈生长是将籽晶快速向上提升,使长出的籽晶的直径缩小到一定大小(4-6mm)由于位错线与生长轴成一个交角,只要缩颈够长,位错便能长出晶体表面,产生零位错的晶体。 (4)放肩生长:长完细颈之后,须降低温度与拉速,使得晶体的直径渐渐增大到所需的大小。 (5)等径生长:长完细颈和肩部之后,借着拉速与温度的不断调整,可使晶棒直径维持在正负2mm之间,这段直径固定的部分即称为等径部分。单晶硅片取自于等径部分。 (6)尾部生长:在长完等径部分之后,如果立刻将晶棒与液面分开,那么效应力将使得晶棒出现位错与滑移线。于是为了避免此问题的发生,必须将晶棒的直径慢慢缩小,直到成一尖点而与液面分开。这一过程称之为尾部生长。长完的晶棒被升至上炉室冷却一段时间后取出,即完成一次生长周期。 单晶硅棒加工成单晶硅抛光硅片 加工流程: 单晶生长→切断→外径滚磨→平边或V型槽处理→切片 倒角→研磨 腐蚀--抛光→清洗→包装 切断:目的是切除单晶硅棒的头部、尾部及超出客户规格的部分,将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度,切取试片测量单晶硅棒的电阻率含氧量。 切断的设备:内园切割机或外园切割机 切断用主要进口材料:刀片 外径磨削:由于单晶硅棒的外径表面并不平整且直径也比最终抛光晶片所规定的直径规格大,通过外径滚磨可以获得较为精确的直径。 外径滚磨的设备:磨床 平边或V型槽处理:指方位及指定加工,用以单晶硅捧上的特定结晶方向平边或V型。 处理的设备:磨床及X-RAY绕射仪。 切片:指将单晶硅棒切成具有精确几何尺寸的薄晶片。 切片的设备:内园切割机或线切割机 倒角:指将切割成的晶片税利边修整成圆弧形,防止晶片边缘破裂及晶格缺陷产生,增加磊晶层及光阻层的平坦度。 倒角的主要设备:倒角机 研磨:指通过研磨能除去切片和轮磨所造的锯痕及表面损伤层,有效改善单晶硅片的曲度、平坦度与平行度,达到一个抛光过程可以处理的规格。 研磨的设备:研磨机(双面研磨) 主要原料:研磨浆料(主要成份为氧化铝,铬砂,水),滑浮液。 腐蚀:指经切片及研磨等机械加工后,晶片表面受加工应力而形成的损伤层,通常采用化学腐蚀去除。 腐蚀的方式:(A)酸性腐蚀,是最普遍被采用的。酸性腐蚀液由硝酸(HNO3),氢氟酸(HF),及一些缓冲酸(CH3COCH,H3PO4)组成。 (B)碱性腐蚀,碱性腐蚀液由KOH或NaOH加纯水组成。 抛光:指单晶硅片表面需要改善微缺陷,从而获得高平坦度晶片的抛光。 抛光的设备:多片式抛光机,单片式抛光机。 抛光的方式:粗抛:主要作用去除损伤层,一般去除量约在10-20um; 精抛:主要作用改善晶片表面的微粗糙程度,一般去除量1um以下 主要原料:抛光液由具有SiO2的微细悬硅酸胶及NaOH(或KOH或NH4OH)组成,分为粗抛浆和精抛浆。 清洗:在单晶硅片加工过程中很多步骤需要用到清洗,这里的清洗主要是抛光后的最终清洗。清洗的目的在于清除晶片表面所有的污染源。 清洗的方式:主要是传统的RCA湿式化学洗净技术。 主要原料:H2SO4,H2O2,HF,NH4HOH,HCL (3)损耗产生的原因 A.多晶硅--单晶硅棒 多晶硅加工成单晶硅棒过程中:如产生损耗是重掺埚底料、头尾料则无法再利用,只能当成冶金行业如炼铁、炼铝等用作添加剂;如产生损耗是非重掺埚底料、头尾料可利用制成低档次的硅产品,此部分应按边角料征税。 重掺料是指将多晶硅原料及接近饱和量的杂质(种类有硼,磷,锑,砷。杂质的种类依电阻的N或P型)放入石英坩埚内溶化而成的料。 重掺料主要用于生产低电阻率(电阻率<0.011欧姆/厘米)的硅片。 损耗:单晶拉制完毕后的埚底料约15%。 单晶硅棒整形过程中的头尾料约20%。 单晶整形过程中(外径磨削工序)由于单晶硅棒的外径表面并不平整且直径也比最终抛光晶片所规定的直径规格大,通过外径磨削可以获得较为精确的直径。损耗约10%-13%。 希望能对你有帮助!
⑻ 单晶硅棒是什么
指的是硅原子的一种排列形式形成的物质。硅是最常见应用最广的半导体材料,当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成晶核,其晶核长成晶面取向相同的晶粒,形成单晶硅。单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿。
单晶硅材料制造要经过如下过程:石英砂-冶金级硅-提纯和精炼-沉积多晶硅锭-单晶硅-硅片切割。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。单晶硅具有准金属的物理性质,有较弱的导电性,其电导率随温度的升高而增加。
与多晶硅的区别
晶体硅根据晶体取向不同又分为单晶硅和多晶硅。单晶硅和多晶硅的区别是;当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒,则形成单晶硅;如果这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则形成多晶硅。
多晶硅和单晶硅的差异主要在物理性质方面,例如在力学性质、电学性质等方面,多晶硅不如单晶硅。多晶硅可作为控制单晶硅的原料,也是太阳能电池和光伏发电的基础材料。单晶硅可算的是世界上最纯净的物质了,一般的半导体器件要求硅的纯度在6个9(6N)以上。
以上内容参考网络-单晶硅