⑴ 如何测量薄膜的厚度
微米级、纳米级的薄膜,可以用薄膜厚度测量仪AF-3000系列测量;
AF系列精度达0.1nm,可测10层膜的膜厚,还支持客制化,可离线/在线/Mapping等多场景应用。
AF系列采用的是分光干涉原理,从测量原理来看,只能测透光或半透光的薄膜,理论上来说金属和类金属化合物这类不透光材质的薄膜,是无法检测的。
但是如果这个薄膜薄到一定程度,部分材质的薄膜会呈现透光性,这时,薄膜厚度测量仪便可测量出金属材质薄膜和类金属化合物薄膜的厚度,AF系列也测试过很多不透光材质的薄膜,如铬、镍、钛等。
材料涂层厚度测量