如何对xps数据进行校准

‘壹’ xps校准不用碳怎么处理

选择其余元素作为参照元素进行校正，使用校正因子。
1、选择其余元素作为参照元素进行校正：可以选择样品中含量较高的元素，或者选择一个标准样品作为参照，对XPS数据进行校正。
2、使用校正因子：若样品中没有合适的参照元素，可以通过已知的校正因子对XPS数据进行校正，这些校正因子可以在相关文献或数据库中找到。

‘贰’ 如何用电子探针仪对样品进行XPS校正

xps校正用最强的C峰。需以C为校准峰进行荷电校正C单质的标准峰位一般284点8减实际测得的C单质峰位等于需平移的，校正的目的是为了避免仪器误差，校正的原则是让C1s的峰位和标准峰位重合。

xps校正用最强的C峰的方法

首先我们要会看XPS高分辨谱原始数据，我们将各元素的高分辨谱的关键数据各元素的结合能和谱峰强度拷贝入origin的数据模块，然后打开该文件，我们可以看到各种特定元素的高分辨谱及对它们进行半定量分析的原始数据。

然后我们需先对原始数据进行荷电校准，然后校准时一般用外来污染碳284点8eV作为基准，所用工具为Origin软件，接下来由于外来污染碳的标准值为284点8eV，故荷电校正值为284点8eV减284点7eV等于0点1eV。