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光刻技術什麼專業好

發布時間:2023-05-18 00:21:44

A. 我想研發光刻機,大學學什麼專業

發光刻機研發涉及多個專業,光學、機械加工、電子電路、化學等。

光刻機涉及到的知識有:光學、機械加工、電子電路、化學等多個學科知識。光刻機的主要性能指標有:支持基片的尺寸范圍,解析度、對准精度、曝光方式、光源波長、光強均勻性、生產效率等。解析度是對光刻工藝加工可以達到的最細線條精度的一種描述方式。

光刻的解析度受受光源衍射的限制,所以與光源、光刻系統、光刻膠和工冊察困藝等各方面的限制。對准精度是在多層曝光時層間圖案的定位精度。曝光方式分為接觸接近式、投影式和直寫式。

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光刻機的發展光刻機:

光刻機作為集成電路製造中最關鍵的設備,對晶元製作工藝有著決定性的影響,被譽為「超精密製造技術皇冠上的明珠」,製造和維護均需要高度的光學和電子工業基礎。

光刻機工作沒態原理跟照相機類似,不過它的底片是塗滿光刻膠的矽片,各種電路圖案經激光縮微投州念影曝光到光刻膠上,光刻膠的曝光部分與矽片進行反應,將其永久刻在矽片上,這就是晶元生產最重要的步驟。

由於製造光刻機具有極高的技術和資金門檻,目前全球光刻機市場基本被荷蘭的阿斯麥、日本的尼康和佳能三家企業壟斷。

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