A. 未來半導體產業技術
全球半導體產業已步入成熟期。未來10年半導體產業年均增長率放緩。手機和消費類電子產品將是推動未來半導體產業增長的主動力。未來半導體產業將是獨立半導體產業的天下。未來半導體產業的整合、兼並將越演越烈。未來半導體產業技術會越來越受到關注。例如:半導體產業的基礎是硅材料工業,因為矽片表面的污染物會嚴重影響器件的性能、可靠性、和成品率。隨著微電子技術的飛速發展以及人們對原料要求的提高,污染物對器件的影響也愈加突出,清洗技術在半導體行業越來越重要。
以前傳統的浸洗、刷洗、壓力沖洗、振動清洗和蒸氣清洗,這些清洗方法都很容易破壞半導體表面,而且半導體製程中重復次數最多的工序,清洗效果的好壞較大程度的影響晶元製程及積體電路特性等質量問題。在所有的清洗方式中超聲波清洗機對半導體的清洗效率最高、效果最好的一種,之所以超聲波清洗能夠達到如此的效果是與它獨特的工作原理和清洗方法密切相關的。我們知道,半導體外形比較復雜,孔內小,利用超聲波清洗機的高效率和高清潔度,得益於其聲波在介質中傳播時產生的穿透性和空化沖擊疚,所以很容易將帶有復雜外形,內腔和細空清洗干凈,在超聲波作用下只需兩三分鍾即可完成,其速度比傳統方法可提高幾倍,甚至幾十倍,清潔度也能達到高標准,提高了對半導體的生產效率,更突出顯示了用其他處理方法難以達到或不可取代的結果。