⑴ 如何測量薄膜的厚度
微米級、納米級的薄膜,可以用薄膜厚度測量儀AF-3000系列測量;
AF系列精度達0.1nm,可測10層膜的膜厚,還支持客制化,可離線/在線/Mapping等多場景應用。
AF系列採用的是分光干涉原理,從測量原理來看,只能測透光或半透光的薄膜,理論上來說金屬和類金屬化合物這類不透光材質的薄膜,是無法檢測的。
但是如果這個薄膜薄到一定程度,部分材質的薄膜會呈現透光性,這時,薄膜厚度測量儀便可測量出金屬材質薄膜和類金屬化合物薄膜的厚度,AF系列也測試過很多不透光材質的薄膜,如鉻、鎳、鈦等。
材料塗層厚度測量