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12寸矽片有哪些測量數據

發布時間:2022-12-08 06:55:55

A. 矽片都做那幾個方面的檢測

你好!
檢測矽片尺寸
檢測單晶矽片的破損程度,並進行分級:
破損小於30mm,能夠切成6英寸Wafer;
破為兩片,無法使用;
沒有破損;
矽片尺寸156*156mm;
檢測速度要求:1.5秒/片;
動作流程:矽片運動到檢測位置後,相機快速拍照,然後進行處理,在這個過程中設備不停;
矽片運動速度:約150mm/s;
打字不易,採納哦!

B. 矽片都做那幾個方面的檢測

矽片有邊長125mm、156mm的,125的又分大倒角對角線156mm和小倒角對角線165mm,多晶矽片以邊長156mm為主,對角線219.2mm。
矽片檢測主要測試項目有:邊長、對角線、倒角、厚度、TTV、線痕、崩邊、隱裂、翹曲、油污、電阻率、少子壽命。

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